МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Оборудование для очистки воды, используемое в микроэлектронной промышленности. Эта отрасль предъявляет чрезвычайно высокие требования к качеству воды, поскольку даже малейшие загрязнения могут негативно повлиять на производственные процессы и качество конечной продукции. Вода в микроэлектронике используется в различных технологических процессах, включая:

• Промывка полупроводниковых пластин: для удаления остатков химических веществ и частиц после различных этапов обработки.
• Приготовление химических растворов: для травления, осаждения и других операций.
• Охлаждение оборудования: Для поддержания рабочей температуры.
• Вспомогательные процессы: В санитарных помещениях, лабораториях.

Основные типы воды, используемые в микроэлектронике:

• Сверхчистая вода (Ultrapure Water, UPW): основной тип воды, используемый в производстве. Должна содержать минимальное количество примесей, включая ионы, органические вещества, микроорганизмы, коллоиды и твердые частицы.

Основные категории оборудования:

1. Предварительная очистка:

   • Механические фильтры: Удаление крупных частиц, песка, взвесей.
     • Сетчатые фильтры
     • Дисковые фильтры
     • Картриджные фильтры
   • Угольные фильтры: удаление хлора, органических веществ, улучшение вкуса и запаха.
   • Умягчители: удаление солей жесткости (кальция и магния).
   • Фильтры обратной промывки: Автоматическая очистка фильтров.

2. Мембранные технологии:

   • Обратный осмос (RO): удаление солей, минералов, тяжелых металлов, бактерий, вирусов.
     • Одноступенчатый RO
     • Двухступенчатый RO
   • Ультрафильтрация (УФ): удаление бактерий, вирусов, коллоидов, пирогенов.
   • Нанофильтрация (НФ): удаление органических веществ, солей жесткости.
   • Электродеионизация (EDI): доочистка воды после обратного осмоса для удаления остаточных ионов. Позволяет достичь сверхнизкой проводимости.

3. Системы деионизации:

   • Ионообменные смолы: Удаление ионов из воды.
     • Катиониты
     • Аниониты
     • Смешанные смолы
   • Дегазаторы: удаление растворенных газов, таких как кислород и углекислый газ.

4. Обеззараживание:

   • Ультрафиолетовые (УФ) стерилизаторы: удаление бактерий, вирусов, грибков, предотвращение биообрастания.
   • Озонаторы: мощный окислитель, используется для дезинфекции и удаления органических веществ.

5. Системы полировки воды:

   • Полировальные смолы: доочистка воды для достижения сверхнизкой проводимости.
   • Фильтры с активированным углем: Удаление остаточных органических веществ.
   • Мембранные дегазаторы: удаление остаточных растворенных газов.
   • Фильтры с удалением частиц: Удаление мельчайших частиц.
     • Капсульные фильтры
     • Мембранные фильтры
     • Фильтры с полыми волокнами

6. Системы мониторинга и контроля:

   • Датчики: контроль качества воды (проводимость, pH, общий органический углерод — TOC, температура, уровень микроорганизмов, количество частиц).
   • Контроллеры: Управление системой очистки, автоматическое дозирование реагентов.
   • Системы SCADA: Сбор данных, визуализация процессов, управление.

7. Системы распределения:

   • Распределительные контуры: для поддержания постоянной циркуляции воды и предотвращения ее застоя.
   • Материалы: Нержавеющая сталь с электрополировкой.
   • Беступиковые соединения: Предотвращение загрязнения воды.

Основные требования к оборудованию:

• Сверхвысокая чистота: Минимальное содержание примесей.
• Надежность и стабильность: Гарантия постоянного качества воды.
• Низкий уровень выщелачивания: использование материалов, не загрязняющих воду.
• Валидация: Подтверждение соответствия системы требованиям микроэлектронной промышленности.
• Автоматизация: Минимизация человеческого фактора, точный контроль.
• Бесшумная работа: снижение вибрации и шума в производственных помещениях.
• Простота обслуживания: Легкость замены компонентов и очистки оборудования.
• Мониторинг в реальном времени: Постоянный контроль параметров воды.

Типовая схема очистки воды для микроэлектроники:

1. Предварительная очистка (механическая фильтрация, умягчение).
2. Двухступенчатый обратный осмос.
3. Электродеионизация.
4. Полировка воды.
5. УФ-стерилизация.
6. Распределительная система.

Основные рекомендации:

• Сотрудничайте с опытными поставщиками оборудования для микроэлектроники.
• Тщательно проектируйте систему очистки воды, учитывая все требования.
• Используйте только качественные компоненты и материалы.
• Регулярно проводите техническое обслуживание и валидацию системы.
• Контролируйте параметры воды в режиме реального времени.

Правильно спроектированная и обслуживаемая система очистки воды является критически важным компонентом успешного производства в микроэлектронной промышленности.